1.概述
采用紫外线照射光源使用汞氙灯作为光源，是一种通过使用紫外线冷镜和光学积分器，只选择和照射具有优良均匀性的恒定偏转光的光源装置。
2.设备名称/型号
紫外偏振光曝光系统
型号：HC-300PUFM-50
3.适应样品尺寸
工作台尺寸：100mmx100mm
4.设备尺寸
参照设备外观图
5.设备配置
设备构成
1）辐照光源单元1台
2）灯具照明电源单元1台
3）干扰滤波片（HBPF313）1片
4）试料平台1台
5）样品吸附泵箱1台
6）电缆类1式
7）Hg-Xe灯（300W）1件
8）维修镜光轴调整镜1片
6.设备性能
1）照射光源部分
①使用灯：Hg-Xe300W（UXM-300YA）
②灯泡寿命：平均1000小时（保修500小时）
③照射光谱特性：250nm~500nm
④主波长：313nm
(5)辐照照度：2-4mw/cm^2可调
※使用照度计OAI-306测量得到的313nm，作为照度保证值。
(6)可调辐照方式：手动调节（通过安装手动辐照调节机制进行调节）。
(7)辐照面积：有效□50毫米
(8)辐照距离：约20毫米
（9）照度分布：在±10%以内（ 照度2-4mw）。
（10）消光比：50：1以上（消光比=S波：P波=χ：1）
（11）滤光片支架：φ50.8 mm滤光片专用
⑫冷却：强制空冷
⑬重量：约50公斤
(⑭涂装颜色：根据客户的要求。
(15)外部尺寸：见附图。
2）光源电源部分
①输入电压：单相100V±10P/60Hz
②功耗：MAX.700 VA
③光源控制：开关恒功率控制
④功率可调：约250~300W
⑤稳定度：±2%以内
⑥冷却：自然对流冷却
⑦重量：约5千克
⑧涂装颜色：根据顾客的要求
⑨外形尺寸：见附件附图
⑩快门控制：手动控制（通过开关任意开闭，通过计时器控制时间）
7.干扰滤波器（HBPF313）
①313nm带通滤波器1件
可以通过安装一个高透光率的干扰过滤器来选择照射波长。
1)LWPF:313nm/365nm/405nm/436nm 4种类型
2)HBPF：254nm/313nm/365nm/405nm/436nm 5种类型
https://www.chem17.com/st668881/product_39458669.html
http://www.ehcdisplay.com/Products-39458669.html