精度提高5~10倍： 气浮转台旋转精度提高10倍，达到0.3微米；X轴和Z轴全程气浮位移台直线精度提高5倍，达到±1微米以内。

承载提高两倍： 气浮转台和X、Y气浮位移台承载余量很大，是传统滚动轴承、动静压液浮、静压液浮承载的两倍以上。 电机需要克服惯性和加大余量，额定承载比传统形式稍大。

皮实耐用无限寿命：超大承载余量、终身免保养、几乎无限寿命、适应各种环境、适应各

种温度。移动速度快、效率高。

干净环保静音节能： 静音工作；除切削液循环系统，省掉各种液压和冷却系统；总功率大

幅减小，有效功率增加。